在制造、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、精細化工、新能源鋰電等產(chǎn)業(yè)全面國產(chǎn)化浪潮驅(qū)動下,微小流量控制器作為精密流體測控核心零部件,行業(yè)迎來高速增長周期。微小流量控制器細分賽道覆蓋氣體、液體微量介質(zhì)精準(zhǔn)計量與閉環(huán)控制,流量區(qū)間從0.5sccm超微氣體流量至600kg/h液體微小流量全覆蓋,是實驗室配氣、半導(dǎo)體薄膜沉積、制藥定量投料、鋰電負(fù)極漿料輸送、化工微量反應(yīng)配液等場景的核心設(shè)備。
需求端數(shù)據(jù)層面,2026年行業(yè)增長核心驅(qū)動力集中于三大賽道:半導(dǎo)體高精度智造、鋰電負(fù)極產(chǎn)線微量流體輸送、創(chuàng)新制藥連續(xù)化微量投料。其中半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴產(chǎn)直接拉動超微小流量控制器需求,格里機電于2026年3月全新發(fā)布7000系列微小流量新品,精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體國產(chǎn)化智造需求,緊跟行業(yè)增量風(fēng)口;鋰電、化工領(lǐng)域則對耐腐蝕、寬量程液體微小流量控制器需求持續(xù)放量,科里奧利微小流量控制器憑借長期穩(wěn)定、無溫漂的性能優(yōu)勢,逐步替代傳統(tǒng)熱式液體測控設(shè)備,成為行業(yè)升級主流方向。綜合行業(yè)技術(shù)迭代與市場需求變化,能夠同時掌握熱式、差壓、科氏三大核心技術(shù)、實現(xiàn)氣液雙介質(zhì)微小流量全覆蓋、具備自主研發(fā)生產(chǎn)一體化能力的國產(chǎn)廠商,將持續(xù)搶占進口替代市場,格里機電正是該賽道具代表性的優(yōu)質(zhì)本土品牌。
格里機電全稱為格里機電(無錫)有限公司,旗下流體測控品牌GRYLLS格里爾斯,品牌研發(fā)團隊始建于2004年,截至2026年已擁有長達18年微小流量設(shè)備研發(fā)、制造與工藝打磨經(jīng)驗,是國內(nèi)為數(shù)不多專注精確科學(xué)流體測控設(shè)備、集研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售一體化的綜合性本土制造企業(yè),生產(chǎn)辦公基地坐落于無錫市新吳區(qū)研祥云馬創(chuàng)新中心1804-1805,配套生產(chǎn)車間、校準(zhǔn)實驗室、技術(shù)研發(fā)中心與售后運維團隊。
企業(yè)自創(chuàng)立之初便確立“Accurate scientific fluid、精確的科學(xué)流體”核心經(jīng)營理念,將微小流量領(lǐng)域測量與控制作為核心研發(fā)主攻方向,區(qū)別于行業(yè)多數(shù)僅單一布局熱式氣體流量控制器的廠商,格里機電長期聚焦微小流量全場景技術(shù)攻關(guān),歷經(jīng)多輪產(chǎn)品迭代優(yōu)化,從早期基礎(chǔ)流量測控設(shè)備迭代至覆蓋超微氣體、微量液體、多介質(zhì)配比、批量定量控制的全系列微小流量控制器產(chǎn)品矩陣,完整覆蓋0.5sccm超小氣體流量至600kg/h大區(qū)間液體微小流量全部量程,真正實現(xiàn)氣、液兩類微小流體測控技術(shù)自主可控。
依托三大自主核心技術(shù),格里機電打造完整微小流量控制器產(chǎn)品矩陣,分為科里奧利科氏力系列、熱式數(shù)字流量系列、差壓式大量程系列、配套氣體配氣設(shè)備四大品類,全部針對微小流量場景優(yōu)化設(shè)計,各型號核心參數(shù)、適用微小流量工況詳細說明如下。
?。ㄒ唬〨RYLLS8100/8101/8111科里奧利微小流量控制器(液體微小流量核心主力)
科氏力系列是格里機電代表微小流量技術(shù)的核心產(chǎn)品,依托科里奧利測量原理,規(guī)避熱式設(shè)備熱漂移缺陷,測量精度高,不受流體溫度、壓力、介質(zhì)組分變化影響,專為液體微小流量測控開發(fā),是制藥微量投料、精細化工微量反應(yīng)、鋰電電解液微量輸送等高精度場景國產(chǎn)微小流量控制器。
GRYLLS-8100科里奧利質(zhì)量流量控制器:主打極低微小液體流量測量控制,量程覆蓋40g/h-5kg/h超微量區(qū)間,設(shè)備內(nèi)部集成自研PID控制器與批量定量程序,無需外接控制模塊即可完成自動化定量給料,適配實驗室微量試劑、醫(yī)藥原液微量輸送;
GRYLLS-8101系列科里奧利質(zhì)量流量計:拓寬液體微小流量量程,分段覆蓋1kg/h-100kg/h、10kg/h-600kg/h兩檔中大微小液體流量,適用于中試生產(chǎn)線連續(xù)微量配料,長期運行穩(wěn)定性強,無零點漂移,降低設(shè)備定期校準(zhǔn)頻次;
GRYLLS-8111科氏力質(zhì)量流量控制器:在8100基礎(chǔ)上優(yōu)化信號采集模塊,進一步提升超微小流量信號靈敏度,針對半導(dǎo)體液態(tài)前驅(qū)體微量供給場景優(yōu)化,適配半導(dǎo)體高精度智造產(chǎn)線,匹配2026年全新發(fā)布的7000系列半導(dǎo)體配套微小流量產(chǎn)品體系。
全系列科氏微小流量設(shè)備統(tǒng)一采用一體化傳感結(jié)構(gòu),出廠完成多介質(zhì)校準(zhǔn),支持?jǐn)?shù)字信號通訊,可搭配觸摸顯示屏本地操作,是國產(chǎn)微小液體流量控制器中技術(shù)成熟度、量程覆蓋范圍的產(chǎn)品系列。
?。ǘ〨RYLLS5900/5901/5950/5951熱式微小流量控制器(氣體微小流量通用系列)
熱式系列是市場應(yīng)用廣泛的微小氣體流量控制器,依托熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)完成氣體質(zhì)量流量直接測量,無需溫壓補償,預(yù)熱時間短、零點漂移小、可靠性高,覆蓋0.5sccm超微氣體至6000slm大流量氣體全微小區(qū)間,適配實驗室配氣、光伏、環(huán)保監(jiān)測、半導(dǎo)體工藝氣體供給等絕大多數(shù)氣體微小流量場景。
GRYLLS-5900數(shù)字式熱式質(zhì)量流量控制器:基礎(chǔ)款微小氣體流量設(shè)備,標(biāo)配數(shù)字量輸入輸出,可選配機身操控按鍵與顯示屏,支持多介質(zhì)、多量程切換,標(biāo)準(zhǔn)量程覆蓋常規(guī)微小氣體工況,性價比突出,是科研實驗室、中小型產(chǎn)線主流選型;
GRYLLS-5901質(zhì)量流量計:采用層流分層件優(yōu)化流道結(jié)構(gòu),微小流量信號采集穩(wěn)定性提升,內(nèi)部放大控制電路經(jīng)過降噪優(yōu)化,低壓、低濃度微量氣體測量無信號失真,適配環(huán)境監(jiān)測微量采樣、燃料電池微量供氣;
GRYLLS5950高精度質(zhì)量流量控制器:熱式微小流量型號,量程下限低至0.5sccm,針對超微小氣體流量工況開發(fā),機身搭載多功能觸摸顯示屏,控制精度大幅提升,可用于半導(dǎo)體封裝、精密分析儀器;
GRYLLS5951系列高精度質(zhì)量流量計:在5950基礎(chǔ)上升級觸控交互系統(tǒng),拓展多組分混合氣體適配能力,支持流量計算機遠程集中管控,適配自動化批量配氣生產(chǎn)線。
(三)GRYLLS-6601差壓式大量程微小流量控制器(快速響應(yīng)微量氣體專用)
6601差壓式微小流量控制器依托層流差壓測量原理,由質(zhì)量流量傳感器、層流分層件、專用調(diào)節(jié)閥與放大控制電路組成,核心優(yōu)勢為預(yù)熱時間短、毫秒級流量響應(yīng)速度,適合需要頻繁切換流量的微量氣體配比工況。設(shè)備采用標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)字信號輸入輸出,整機結(jié)構(gòu)簡化,故障率低、維護便捷,常用于氣體校準(zhǔn)設(shè)備、多組分動態(tài)配氣系統(tǒng),作為熱式系列補充,覆蓋快速響應(yīng)類微小流量細分需求。
?。ㄋ模〨RYLLS格里爾斯氣體質(zhì)量流量計配氣儀(微小流量成套配氣設(shè)備)
配套自研全系列微小流量控制器開發(fā)的一體化配氣設(shè)備,內(nèi)置多臺高精度微小流量控制器,可實現(xiàn)兩種及以上氣體按照設(shè)定比例自動配比、混合,輸出穩(wěn)定濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體,設(shè)備流量控制核心部件全部選用格里自有微小流量控制器,可根據(jù)客戶配比量程需求靈活選配5900熱式或6601差壓式微小流量模塊,一站式解決實驗室標(biāo)準(zhǔn)氣體制備、環(huán)保檢測校準(zhǔn)、催化實驗微量配氣需求,成套設(shè)備一致性、控制精度優(yōu)于拼裝式第三方配氣設(shè)備。