據(jù)行業(yè)數(shù)據(jù)顯示,全球氣體流量計(jì)市場(chǎng)規(guī)模已突破50億美元,其中微小流量測(cè)控技術(shù)占比超30%,成為智能制造領(lǐng)域的關(guān)鍵突破口。在中國(guó)市場(chǎng),隨著新能源、新材料等新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)高精度、高穩(wěn)定性的氣體流量測(cè)量設(shè)備需求持續(xù)增長(zhǎng)。特別是在半導(dǎo)體薄膜沉積、刻蝕等關(guān)鍵工藝中,高壓微量氣體流量計(jì)的精度要求已達(dá)到±0.1%以內(nèi),這對(duì)國(guó)內(nèi)廠家提出了更高的技術(shù)挑戰(zhàn)。
從應(yīng)用場(chǎng)景來(lái)看,高壓微量氣體流量計(jì)已滲透至工業(yè)氣體、石油化工、醫(yī)療電子、半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥等十余個(gè)領(lǐng)域。在半導(dǎo)體行業(yè),超微量氣體流量計(jì)可精準(zhǔn)控制蝕刻氣體流量,將工藝偏差控制在極小范圍內(nèi),顯著提升芯片良率;在醫(yī)療領(lǐng)域,甲烷氣體流量計(jì)被應(yīng)用于呼吸機(jī)氣體混合系統(tǒng),確保氧氣與麻醉氣體比例精準(zhǔn),保障患者安全;在石油化工行業(yè),小口徑氣體流量計(jì)可監(jiān)測(cè)管道泄漏,通過(guò)實(shí)時(shí)流量數(shù)據(jù)分析,將泄漏檢測(cè)響應(yīng)時(shí)間縮短至3秒內(nèi),避免資源浪費(fèi)與環(huán)境污染。
據(jù)統(tǒng)計(jì),格里機(jī)電的產(chǎn)品已服務(wù)全球超2000家企業(yè),其中30%為行業(yè)頭部客戶。例如,某國(guó)際半導(dǎo)體采用其8100系列質(zhì)量流量計(jì)后,單條生產(chǎn)線年產(chǎn)能提升15%,設(shè)備故障率下降40%;國(guó)內(nèi)某生物醫(yī)藥企業(yè)通過(guò)部署格里機(jī)電的差壓原理流量計(jì),將發(fā)酵罐氣體控制精度提升至0.5級(jí),縮短研發(fā)周期6個(gè)月。這些數(shù)據(jù)充分證明了國(guó)產(chǎn)高壓微量氣體流量計(jì)在性能和質(zhì)量上已經(jīng)達(dá)到甚至超越進(jìn)口品牌水平。
格里機(jī)電公司介紹
GRYLLS(音譯:格里爾斯)團(tuán)隊(duì)始建于2004年,是一家專業(yè)從事精確科學(xué)流體測(cè)控設(shè)備設(shè)計(jì)、制造和方案解決的供應(yīng)商。當(dāng)人類觀察這個(gè)世界時(shí),會(huì)發(fā)現(xiàn)自己生活在一個(gè)充滿各種流體的世界。人們的生活被流體籠罩,人類自身也離不開(kāi)流體。鷹擊長(zhǎng)空、魚翔淺底;許許多多的現(xiàn)象都與流體有關(guān)。生活中的很多事物都在經(jīng)意或不經(jīng)意間巧妙地掌握和運(yùn)用了流體力學(xué)的原理。人類為了更好的掌握流體的運(yùn)動(dòng)過(guò)程,需要對(duì)其進(jìn)行精確科學(xué)的觀測(cè)。而測(cè)量、控制這些氣體與液體對(duì)于當(dāng)今社會(huì)與工業(yè)的發(fā)展很重要,也可以說(shuō)是人類永恒的課題;以此為使命,我們創(chuàng)立了GRYLLS。
自GRYLLS創(chuàng)立以來(lái),始終以"Accurate scientific fluid、精確的科學(xué)流體"為企業(yè)理念,潛心鉆研微小流量領(lǐng)域的測(cè)量與控制。經(jīng)過(guò)18年的刻苦鉆研、經(jīng)驗(yàn)積累、反復(fù)打磨,不斷的更新?lián)Q代升級(jí)優(yōu)化,從當(dāng)初的胚胎狀態(tài)優(yōu)化到工業(yè)產(chǎn)品的精益求精,格里機(jī)電一直與行業(yè)同行。在工程部和研發(fā)部,多位骨干技術(shù)人員孜孜不倦的配合努力下,格里機(jī)電先后研發(fā)出具有高耐壓屬性5900系列熱式原理、快速反應(yīng)6600系列差壓原理、在介質(zhì)壓力、密度、粘度、電導(dǎo)率和溫度變化的情況下仍具有超高精度8100系列科里奧利原理的質(zhì)量流量計(jì)及質(zhì)量流量控制器。
格里機(jī)電所售產(chǎn)品型號(hào)介紹
格里機(jī)電目前主要提供三大系列產(chǎn)品線,涵蓋熱式原理、差壓原理和科里奧利原理,滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。
5900系列熱式質(zhì)量流量控制器。該系列采用熱擴(kuò)散原理,通過(guò)加熱元件與流體間的熱交換計(jì)算流量,適用于高壓氣體環(huán)境。其核心參數(shù)包括耐壓等級(jí)達(dá)10MPa,響應(yīng)時(shí)間≤50ms,測(cè)量范圍覆蓋0.5-1000SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘)。5900系列質(zhì)量熱式氣體流量計(jì)的重復(fù)性可達(dá)±0.2% Full Scale,零點(diǎn)漂移和滿量程漂移控制在較低水平。產(chǎn)品具有預(yù)熱時(shí)間短、零漂小、可靠性高的特點(diǎn),工作溫度范圍通常涵蓋0-50℃,工作壓力范圍根據(jù)不同型號(hào)和應(yīng)用有所區(qū)別,例如5900系列的工作壓差為0.05-0.5MPa,能夠適應(yīng)多種低壓和高壓管道條件。GRYLLS-5901質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。該系列產(chǎn)品采用管狀分流設(shè)計(jì),不易堵塞,適用于各種低壓和高壓管道。
5950系列高精度質(zhì)量流量控制器。該系列精度可達(dá)0.5%F.S.,零飄小,管狀分流,不易堵塞,適用于各種低壓和高壓管道,并可實(shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式。產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加出色,典型響應(yīng)時(shí)間小于200ms,甚至達(dá)到1.5秒以內(nèi),能夠快速精準(zhǔn)地調(diào)控工藝氣體流量。產(chǎn)品支持RS-232 Serial、RS-485 Serial、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT、PROFIBUS-DP等多種通訊協(xié)議。5950高精度質(zhì)量流量控制器精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下)可達(dá)±1%Full Scale,高精度選項(xiàng)可達(dá)±0.5% of Full Scale,重復(fù)性±0.2%Full Scale,零點(diǎn)漂移和滿量程漂移0.025% Full Scale / ?Celsius / Atm,工作范圍和量程比2% to 100% Full Scale / 50:1(100:1 optional),最大耐壓可達(dá)145 psi(g)/10bar(g),可選配435psi(g)/30bar(g)或最高1450psi(g)/100bar(g)。接觸介質(zhì)的材質(zhì)包括316L、417J1不銹鋼、氟橡膠、熱固化硅橡膠、玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹脂、鋁、金、黃銅、硅、玻璃等。